leuze能實(shí)現的測量。集成顯示測量值,方便傳感器的調整。距離傳感器與數字接口結合使用,顯示出其巨大的精度潛力。在基礎學(xué)科研究中,傳感器更具有突出的地位。要獲取大量人類(lèi)感官無(wú)法直接獲取的信息,沒(méi)有相適應的傳感器是不可能的。由此可見(jiàn),傳感器技術(shù)在發(fā)展經(jīng)濟、推動(dòng)社會(huì )進(jìn)步方面的重要作用,是十分明顯的。世界各國都十分重視這一領(lǐng)域的發(fā)展。相信不久的將來(lái),傳感器技術(shù)將會(huì )出現一個(gè)飛躍,達到與其重要地位相稱(chēng)的新水平。
leuze傳感器技術(shù)將會(huì )出現一個(gè)飛躍
按其制造工藝
集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。