AMO 是一家非營(yíng)利性中小企業(yè),其使命是為技術(shù)融合帶來(lái)的創(chuàng )新開(kāi)辟道路。 特別是解決了微電子和光電子之間的融合問(wèn)題,以及從中出現的創(chuàng )新潛力的開(kāi)發(fā)。 成功實(shí)現這一使命的戰略是基于被確定為最有希望的創(chuàng )新來(lái)源的關(guān)鍵使能技術(shù) (KET) 的集中度。 這種戰略緊密地局限于創(chuàng )新,因為創(chuàng )新是發(fā)現、發(fā)明和洞察力的交叉點(diǎn),從而產(chǎn)生了經(jīng)濟價(jià)值。
更新時(shí)間:2023-06-21
AMO:高性能紫外線(xiàn)納米壓印抗蝕劑
UV納米壓印是一種機械成型技術(shù)。由石英或具有 3D 浮雕的柔性彈性體制成的模板與基板頂部旋涂的 UV 固化抗蝕劑緊密接觸。由于壓印抗蝕劑的低粘度,在室溫下施加低壓印壓力會(huì )在幾秒鐘內填充特征??刮g劑通過(guò)模板背面的紫外光硬化。最后,分離基板和模板。復制的抗蝕劑浮雕可以進(jìn)一步通過(guò)RIE工藝轉移到基板中或用作功能元件。
基于在納米壓印領(lǐng)域的廣泛長(cháng)期經(jīng)驗,AMO 開(kāi)發(fā)了一種可商用的 UV 固化抗蝕劑 (AMONIL®) 和匹配的粘合促進(jìn)劑 (AMOPRIME)。
AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®:
AMO GmbH 在一系列項目中從事 UV-Nanoimprint 光刻技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)超過(guò) 15 年?;谶@些豐富的經(jīng)驗,我們能夠設計 AMO并定期對其進(jìn)行改進(jìn)。該抗蝕劑將出色的涂層和壓印性能與出色的圖案保真度和合理的等離子體穩定性相結合。
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